Реактор с холодными стенками
Инновационная технология с внутренними нагревательными элементами для максимальной эффективности CVD-процессов.
Принцип работы
Реактор с холодными стенками представляет собой инновационное решение, где нагревательные элементы расположены внутри реакционной камеры, а стенки реактора остаются относительно холодными. Это обеспечивает ряд значительных преимуществ по сравнению с традиционными системами.
Внутренние нагревательные элементы работают на постоянном токе и обеспечивают прямой нагрев подложки, минимизируя потери тепла и обеспечивая превосходную однородность температурного поля.
Преимущества технологии
Высокая энергоэффективность
Минимальные потери тепла благодаря прямому нагреву подложки
Быстрый отклик
Мгновенная реакция на изменения температурных параметров
Однородность нагрева
Превосходное распределение температуры по всей поверхности
Чистота процесса
Минимальное загрязнение от нагревательных элементов
Точный контроль
Высокая точность поддержания заданной температуры
Долговечность
Увеличенный срок службы благодаря оптимальному тепловому режиму